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日本APOLLOWAVE 手動探針臺 α-150

 
品牌: 日本APOLLOWAVE阿波羅微波
單價: 1.00元/套
起訂: 1 套
供貨總量: 10 套
發貨期限: 自買家付款之日起 30 天內發貨
所在地: 湖南省 長沙市
有效期至: 長期有效
最后更新: 2022-07-20 16:50
瀏覽次數: 755
 
公司基本資料信息
詳細說明

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日本APOLLOWAVE  手動探針臺  α-150

產品簡介:

高性能日本原裝手動探針臺,載物臺尺寸可選6-8吋

探針臺主機:α-150

1.1 適用: 6英寸及以下晶圓或芯片

1.2   X軸: 粗調行程:200mm

粗調方式:自鎖式推拉桿

微調行程:25mm

微調方式:千分尺控制

控制分辨率:10um

1.3   Y軸: 粗調行程:200mm

粗調方式:自鎖式推拉桿

微調行程:25mm

微調方式:千分尺控制

控制分辨率:10um

1.4   Z軸: 移動量:10mm

粗調行程:5mm,精度:±10%以內

微調行程:0.3mm,精度:±20%以內

1.5   θ軸: 移動量:±10°以上

1.6   平行度: 對載物臺 30um以內

1.7   尺寸: 600W×600D×450H) 不含突出部

1.8   重量: 60kg

1.9   真空壓 小于-65kPa(用于晶圓吸附)

1.10  壓縮空氣:0.4-0.5MPa

1.11  使用環境:溫度23℃±5℃,濕度20%-80%(無結霜)

 

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